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연세소식

[연세 뉴스] 세계 최소 선폭 실리콘 금속배선 개발

연세대학교 홍보팀 / news@yonsei.ac.kr
2005-12-01

물리학 최고 권위지 '피지컬 리뷰 레터스' 게재 물리 및 응용물리 사업단 염한웅 교수 물리 및 응용물리 사업단 염한웅 교수 연구진이 차세대 실리콘 소자에서 상용화 가능성이 높은 세계 최소 선폭의 금속배선을 개발하는 데 성공했다. 염한웅 교수는 과학기술부 창의적연구진흥사업 원자선원자막연구단 프로젝트를 통하여 현재의 초고직접 실리콘 반도체소자의 금속배선보다 선폭이 25분의 1에 불과한 금속실리사이드(금속과 실리콘의 화합물의 일종) 나노선을 실리콘 기판 위에 직접 대량으로 성장시키는 기술을 확보했다. 이 결과는 물리학 분야 세계 최고 권위지인 '피지컬 리뷰 레터스(Physical Review Letters)'에 11월 11일 게재됐다. 테라비트급 3세대 반도체 소자 가능성 열어 금속배선이란 반도체 소자에 전기신호를 흘려보내 주는 부분으로서 트랜지스터, 축전지 등과 함께 소자를 구성하는 중요한 요소다. 연구진이 개발한 금속실리사이드 나노선은 그 선폭이 2㎚(나노미터)로 원자 10개의 크기에 불과하다. 금속실리사이드 나노선은 2000년 미국의 휴렛패커드사 연구진에 의해 최초로 소개돼 주목을 끌었지만 실용화에 성공하지 못했다. 연구진은 가돌리늄(Gd)이라는 특수한 금속과 특별히 가공된 기판을 사용해 원자 크기의 나노선을 일정 간격으로 한 방향으로 정렬하는 기술을 개발함으로써 2㎚급 금속배선의 상용화 가능성을 높였다. 염한웅 교수는 "이번 기술은 실리콘 기판을 이용하기 때문에 기존 반도체 공정에 바로 상용화할 수 있다는 것이 장점"이라며 "우리나라 반도체산업의 국제적 경쟁력을 유지하고 차세대 반도체소자 개발 경쟁에서 유리한 위치를 점하도록 하는 데 큰 도움이 될 것"이라고 밝혔다. 염한웅 교수가 이끌고 있는 원자선원자막연구단은 실리콘 기판 나노 및 원자선 연구로 최근 4년간 '피지컬 리뷰 레터스'에 8편의 논문을 연속적으로 발표하는 이례적인 연구업적을 이루었고 이 중 초기연구가 국제적인 학술지에 130회 이상 인용되는 등 이 분야의 세계적인 권위자로 인정을 받고 있다.

 

vol. 418
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