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연세소식

[학술행사] 세계 최고 수준의 반도체 소자 분석장비 개발

연세대학교 홍보팀 / news@yonsei.ac.kr
2003-04-16

물리학과와 초미세 표면과학 연구센터의 염한웅 교수팀이 실리콘 반도체 소자와 관련한 극박막 구성과 화학 상태 등을 정밀하게 측정할 수 있는 광전자분광설비를 개발했다. 염한웅 교수 연구진은 과학기술부 과학재단과 21세기 프런티어 연구개발 사업인 테라급나노소자개발사업단의 과제로 지난 4년간 연구를 진행해왔으며, 그 결과 상용화된 기존 장비보다 성능이 월등한 분광설비를 선보였다. 이번에 개발된 광전자 분광설비는 미국, 일본, 스웨덴, 독일 등의 대규모 국립연구소들만 갖추고 있는 것이며, 염한웅 교수는 "나노소자와 재료 관련 분석기술에서 새로운 세계 최고 수준을 확보했으며 실리콘 소자와 관련한 박막 화학상태 분석에서 세계 표준을 제시했다"고 연구성과를 평가했다. 특히 이번 연구성과는 물리학 분야 세계 최고 권위지인 피지컬 리뷰레터에 3월 15일에 게재되어 세계적으로 그 성과를 인정받은 바 있다.

 

vol. 367
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