‘Advanced Materials’지 속표지 논문 게재 기계공학과 김종백 교수 연구팀의 연구 성과가 재료 분야에서 세계적 권위의 저널 ‘어드밴스드 머터리얼즈(Advanced Materials)’지(IF 10.880) 10월 4일자의 속표지 논문으로 게재됐다. ‘Integrated Carbon Nanotube Array as Dry Adhesive for High-Temperature Silicon Processing’이라는 제목으로 게재된 김 교수팀(교신저자 김종백 교수, 주저자 은영기 박사과정 대학원생)의 연구결과는 소자 통합형 탄소나노튜브 건식 접착물을 이용한 새로운 실리콘 고온 프로세싱 방법론을 제시하고 있다. 연구팀은 각종 실리콘 마이크로 구조들을 건식식각을 통하여 먼저 가공한 후, 고도 정렬된 탄소나노튜브를 소자의 원하는 위치에 합성하고, 이를 섭씨 900도에 이르는 고온 환경에서의 건식접착물로 활용했다. 이러한 방법을 통하여 광신호를 주사하는 마이크로스캐너 소자를 일괄공정으로 제작하는 데 성공했다. 김 교수는 “이번 연구를 통하여 소자에 통합된 탄소나노튜브를 고온 공정 환경에서의 건식 증착물로 응용 가능하다는 것을 확인했다”며 “본 논문에서 제시된 공정 방법은 고온 실리콘 프로세싱뿐만 아니라 다양한 마이크로 센서 및 엑츄에이터 등의 소자에 활용될 수 있을 것”이라고 말했다. 연구팀은 또한 올해 5월, ‘어드밴스드 머터리얼즈’지 23호에 탄소나노튜브를 접촉 재료로 하는 고신뢰성, 장수명의 마이크로 기전 스위치(Microelectromecahcanical switch)를 발표한 바 있다. 이 연구는 기존의 마이크로 기전 스위치들이 갖는 문제점인 낮은 수명을 해결함과 동시에 안정적인 전기적 접촉을 제공하였다. 본 연구팀은 다양한 나노소재를 Nano- and Microelectromecahcanical Systems(NEMS and MEMS)에 응용하는 연구를 활발히 진행 중이다.